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机器视觉应用典型案例之半导体篇


时间:2012-05-02

应用领域:


    在现代自动化生产过程中,机器视觉广泛地用于工况监视、成品检验和质量控制等领域。在一些不适合于人工作业的危险工作环境或人工视觉难以满足要求的场合,常用机器视觉来替代人工视觉;在大批量工业生产过程中,用人工视觉检查产品质量效率低且精度不高,用机器视觉检测方法可以大大提高生产效率和生产的自动化程度。

下面中国机器视觉商城带您看一下机器视觉在半导体制造中的应用: 
    半导体制造过程可以划分为前、中、后三段。在这三段中,每一段制程,机器视觉都是必不可少的。 在前、中段过程中,机器视觉主要应用在精密定位和检测方面。没有精密定位,也就不可能进行硅片生产。中段制程是半导体制程的最重要环节,与机器视觉相关的还有最小刻度测量。目前,后段制程则是机器视觉应用非常广泛的环节,后段制程主要涉及晶圆的电器检测、切割、封装、检测等过程。晶圆在切割前必须使用机器视觉系统检测出瑕疵,并打上标记。检测完毕切割过程中需要利用机器视觉系统进行精确快速对准定位,采用基于机器视觉技术的预对准技术具备很强的速度优势。
    基于机器视觉的解决方案,只需要半秒钟就能定位硅片中心并对准切口。切割过程开始后也要利用机器视觉进行定位,如果定位出现问题,则可能整片晶圆会报废。切割后的IC要保证在不互相接触的前提下分装到相应的容器内部,再继续利用机器视觉系统找出非瑕疵品进入封装过程。
    在半导体制造前、中、后三段的视觉应用中,PC-Base机器视觉系统占据着很大的比重,这是因为PC-Base系统对于设备完成复杂检测需求及进行二次开发的实施性最强。在设备设计初期如果考虑PC-Base视觉系统,其整合性也最强。另外,由于智能相机等嵌入式视觉系统本身发展的限制,其精度和速度还无法与PC-Base系统相比。因此嵌入式视觉系统在半导体行业应用中仍大多集中在后段部分。

    随着国内自动化程度的提高,整个社会对产品质量要求的提升,制造业对生产效率要求的提升以及机器视觉技术自身的成熟和发展,机器视觉也会越来越深入人心。