正文--案例--中国科学院自动化研究所苏州研究院的主页--机器视觉网

液晶屏能够显示各种信息给人类，是现代电子技术、人工智能的重要基础单位，是人机交互的重要通道，具有十分重要的价值。液晶屏中最新的是源矩阵有机发光二级面板显示屏(amoled)，因其特性受到了业界的广泛关注，其中偏光片是它的重要组成部分。偏光片分别由保护膜、三醋酸纤维素膜（TAC）、聚乙烯醇膜（PVA）、离型膜和压敏胶等结构层组成。在生产过程中，将原材料的膜通过拉伸、扩大等制作工艺，最终使偏光片整体透光效果均匀，从而为amoled的均匀发光效果提供保障。

偏光片是一种常见的偏振光学元件，应用非常广泛，在薄膜电晶体液体显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)型液晶显示面板中，必有两层偏振方向正交的偏光片。偏光片成品一般由 6 层微米级厚度的透明聚合物薄膜组成，其外观缺陷可能出现在任何一层。一旦出现凸凹点、异物、气泡、划痕等外观缺陷会直接降低显示面板的质量等级，甚至导致整个面板报废，因此偏光片外观缺陷检测就变得尤为重要。

1、案例需求：薄膜沟槽深度测量

2、解决方案

采用3D飞点分光干涉仪系列，采集薄膜划痕狭缝数据，用GIVS 3D进行检测。

检测实物图

3、样品特点
多层透明薄膜、沟槽横向宽度窄

4、测量条件
扫描点数：100×400
扫描范围：0.3×1.2（mm）

5、软件工具
平面校正、点云转深度图、高度测量等。

检测结果

6、检测方案
（1）点云数据采集；
（2）进行点云数据校正，将点云转成深度图；
（3）选择测量区域，进行高度测量。

检测点云图

3D飞点分光干涉仪是专业用于超高精度、镜面高反光及透明材质的纳米级测量仪。采用谱域白光干涉原理，实现300nm Z向绝对精度、30nm Z向重复精度，扫描帧率70kHz，最大直径80mm，可适用于测量强反射、弱反射及透明物体等多种物体，分光模块与光学振镜模块分离设计，加入光学振镜扫描可替代昂贵的高精密位移台。
产品可广泛应用于半导体晶圆、金线、BGA、AR镜片、精密接插件等亚微米级别的3D测量。