光谱共焦原理简介

一束白光(或多波长混合光)经过一个小孔，经过镜头将不同的波长聚焦到光轴上，色散的形成一条彩虹状分布带,照射到样品上，表面部分反射光反射回去。

没有照射在光轴与物体表面交点的光经过分光部件，照射在另一个小孔周围被阻挡,无法照射到光谱分析仪，不会被干扰测量。

产品优势

超大测量角度：可实现镜面表面士62°，漫反射表面士88超大角度测量。

支持四通道同步测量：1.可实现低成本的高精度测量；2.提高精度,降低成本。

纳米级分辨率：测量光束在整个测量范围内具有超高的分辨率和精度光点最小可至2.48um,超强收光能力。

一站式软件支持

1.程序设定智能,页面菜单简介明了,操作简单易上手；

2.量身定制,售后无忧。

不受区域限制

相较于普通激光位移传感器,不容易受到空间中各个表面的反射干扰,因此无测量方向的限制,尤其在测量一些盲孔、窄缝等狭小的区域,具备独特的优势，且重复最小误差仅±0.04μm。

与传统方式对比

凹坑、断差也无死角：由于采用同轴的光谱共焦方式,所以能在不影响探头的安装方向及移动方向的情况下测量。

距离改变，光点直径不改变：以往的激光位移计在移动到测量范围的边缘的过程中光点直径会变大,受此影响精度会变差,或者无法正确跟踪形状。

HPS-CF系列的光点直径在测量范围内的每个位置都几乎不会发生变化,因此可高精度测量。

对透面、镜面体的曲面、倾斜实现该精度测量：重点是除了同轴的光谱共焦方式之外,照射光的开口亦为广角。如果能接受部分反射光,就可以通过检测其反射光的波长位置来进行高精度的测量。

斜面测量依旧清晰：即使暂时能受光,但是镜头像差的影响下,受光轮廓不清晰,形状破坏,测量变得不稳定。

部分产品数据

传感头（其余型号请联系业务人员）

控制器（其余型号请联系业务人员）

应用范围

相机/蓝宝石镜片厚度测量

电子线路/二极管测量

深孔/液位测量

薄膜测量