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深圳三得精密技术有限公司

氧化铝精密陶瓷-三得精密
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公司名称:深圳三得精密技术有限公司
发布时间:2022-03-14
有效日期:2025-03-14
应用领域:精工和光学半导体
关键词:配件
产品详情
深圳三得精密技术有限公司,www.tptet.com,提供平场复消色差物镜、线性扫描镜头、半导体晶圆吸盘、精密陶瓷等高精密产品,多应用于PCB检测、液晶面板检测、半导体晶圆检测等AOI光学检测设备上。

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日本精密陶瓷产品,质量保证。

氧化铝精密陶瓷(Al2O3)是精密陶瓷中最常用的材料, 纯度为99.5%和99.9%的产品。氧化铝是白色或乳白色的陶瓷,利用其优异的电绝缘性能,早期开始即应用在电子部品上,使用量较多,是精密陶瓷中成本最低的材质。高纯度类型氧化铝的机械强度高、耐腐蚀性优异,可生产大型产品。此外,由于其具有优异的耐等离子特性,也可用于CVD设备或蚀刻设备的部件。

特点:
•  电绝缘性
•  耐磨耗性
•  耐热性
•  耐腐蚀性
•  耐等离子性
主要用途:
•  半导体制造设备部品(腔体部件、绝缘法兰盘、蚀刻设备部件、晶圆夹盘)
•  一般产业用部件(激光加工机喷嘴、转轴、轴承)
•  高精度用,精密用,耐热用冶工具(定位治具、装配夹具)

型号特点密度
g/cm3
杨氏弹性模量
GPa
弯曲强度
MPa
断裂韧性
MPa・m1/2
热膨胀系数
×10-6/K
热传导率
W/m・K
体积电阻
Ω・cm
ALP01
氧化铝99.5%
用途广泛
高刚性
3.93704403~46.3331014
ALP02
氧化铝99.9%
高纯度
高刚性
3.93704503~46.3301014








热膨胀系数为RT~200℃时的测量数据。