应用场景

太阳能电池生产时，需要使用扩散炉、氧化炉等设备对硅片进行扩散，氧化反应，处理完毕后，石英舟携带硅片从炉中离开，需要检测确保舟到位后，机械手准确抓取。

解决方案

使用位移传感器SD-H0400对石英舟、石墨舟位置距离进行到位检测，针对石英磨砂透光的材质可精准测量，可长期适应85℃工况，在热工艺设备处依旧稳定检测，位置准确度可达0.5mm，满足实际生产需求。

图 | 石英舟到位检测